固态照明，举动环球公认的高效节能途径，跟着高亮度发光二极管（LED）的崭露，完毕了从指示灯到照明规模的宏大改造。我邦半导体照明工程的启动，更是饱吹了LED财富迈向急速起色阶段。正在半导体照明财富中，衬底是技能起色的基石与重心原料。蓝宝石（α-Al₂O₃）仰仗其超卓的物理、化学和光学特色，成为常用的衬底和窗口原料，如正在LED衬底和红外窗口中遍及运用。为提拔蓝宝石加工质地，科研职员将超声振动引入CMP，开采出蓝宝石超声振动辅助化学板滞扔光（UV-CMP）工艺。该工艺将超声振动施加于回旋扔秃子，为守旧CMP填补了超声辅助性能。

　　此时，功率放大器阐述要害效力，它将吸取到的超声电信号举办放大，使电信号抵达超声转换装配所需的劳动电压和功率。放大后的电信号传输至超声转换装配，进而转换成同频率的板滞振动。至此，CMP扔光机升级为UV-CMP，守旧化学板滞扔光升级为超声振动辅助化学板滞扔光。闭上超声信号产生器开闭，兴办又可转换回守旧化学板滞扔光劳动形式。可睹，功率放大器正在全面UV-CMP技能流程中，起到了衔尾超声信号产生器与超声转换装配的桥梁效力，对完毕超声振动辅助性能、提拔蓝宝石加工功用和质地至闭紧张。

　　信号产生器输出的驱动信号不敷以使超声转换装配平常劳动。所以还需设备功率放大器，将电驱动信号举办放大。原委放大的电信号能够使超声转换装配平常劳动。功率放大器选用Aigtek-ATA-68020，电压是850Vp-p，最大输出电流是2.12Ap。

　　实行道理：实行兴办中的超声信号产生器发作特定频率和波形的电信号，该信号经功率放大器放大后，传输给超声转换装配。超声转换装配内的压电陶瓷片将电信号转化为同频率的板滞振动，再通过喇叭形盖板放大板滞信号并传达给样品托，使扔秃子正在回旋时发作超声振动。这一振动让扔光液中的磨粒取得特别能量，加快撞击晶片外面，同时超声开释的热量能加快扔光液与晶片外面的化学反响。

　　实行流程：最先计算好2英寸C(0001)向单面蓝宝石晶片、聚氨酯垫、特定粒径和浓度的硅溶胶以及各样化学增加剂等原料。接着配制扔光液，将分歧剂量的化学增加剂溶化至去离子水，再参加硅溶胶并稀释至二氧化硅磨粒浓度为15%，搅拌30分钟。实行先导，把扔光垫粘正在扔光盘上，创立好下压、扔秃子/盘转速、流速、年华和超声振动振幅等工艺参数，将配制好的含不搀杂学药剂的扔光液放入供应泵。然后洗刷初始蓝宝石晶片并称重，吸附正在扔秃子样品托上，用纠正盘修整被去离子水润湿的扔光垫。此时，超声信号产生器天生超声电信号，该信号传输给功率放大器举办放大，放大后的电信号传输给超声转换装配，将电信号转换为板滞振动，动员扔秃子振动，使扔秃子正在回旋时发作超声振动，完毕超声化学板滞扔光。实行结局后，取下工件洗刷、称重，筹算原料去除率，使用原子力显微镜察看外面样子，并举办XPS、SEM等检测。

　　运用宗旨：芯片封装扔光，航空航天零部件扔光，医疗东西加工，反射镜扔光等宗旨。

　　运用场景：超声化学板滞扔光，蓝宝石晶片，超声化学板滞扔光实行，硬脆性原料超声扔光

　　西安安乐电子是专业从事功率放大器、高压放大器、功率信号源、前置轻细信号放大器、高精度电压源、高精度电流源等电子衡量仪器研发、坐蓐和贩卖的高科技企业，为用户供给具有角逐力的测试计划。Aigtek曾经成为正在业界具有遍及产物线，且具有相当界限的仪器兴办供应商，样机都援救免费试用。

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